半导体制造业通常伴随复杂的机械,在无尘环境7*24小时全天候运作数百道复杂制程工序,其面临的挑战不言而喻。
半导体制造业的无尘室中配置着各种各样、种类繁多的设备——成百上千台设备完好共存于一个大型厂房。通常此类机器都配备工控机,以此控制和检测设备的操作和运转各项机台并进行机台数据收集、分析与审计。工厂管理或维护人员日常工作必须要在各厂房内来回奔走, 而且万一需要进到无尘室使用设备,还须穿上相关的无尘隔离配备。如此造成了这些人员浪费时间奔走在厂房之间而无法有效的运用时间,效率也明显降低; 有些无尘设备也是一次性或需要用完后清洗,这样也造成了一些人力与物力上的资源浪费。
KVM-over-IP远程访问半导体设备
力登公司的KVM-over-IP技术可以解决这些问题。既可以在厂房无尘室内提供制程工程师、机台作业员及设备工程师半导体设备的本地端访问,也可以为无尘室外的经理、工程师、技术员或监管员提供可控制的远程访问。通过标准以太网和IP网络,不论是在无尘室内还是外,均可对数以千计的半导体设备进行访问和控制。
远程访问半导体设备的工控机主要有几种用途:检验、监测、日志记录、运行操作、维修保养及故障排除。
力登公司提供了安全、可控的访问和日志记录,由键盘、显示器和鼠标(KVM)控制。用户必须登入至访问的设备,设置权限/规定,以确定哪些设备可进行访问,以及是否让用户完全控制或只是只读访问,甚至可以在本地技术人员执行维护时选择禁用远程控制选项。
力登的制造业解决方案
下图清楚表明了力登的制造业解决方案是如何对成百上千台半导体制造设备提供安全、可控的本地和远程访问控制。
将半导体设备的工控机连接至本地控制台控制器(LCC), LCC则连接了一个无尘室内的键盘、显示器和鼠标控制台。同时,LCC还连接到一个计算机接口模块(CIM), 这个模块连到Dominion KX III KVM-over-IP 交换机。
通过使用标准TCP/IP网络,KX III即可为用户提供设备访问和控制,不论使用者是在无尘室室内还是室外。每一台KX III交换机可连接最多达64台设备。用户可以根据需求添加KX III交换机,连接更多设备。可以使用数百台KX III交换机,所有连接都可通过以太网和IP网络进行连接。用户只可访问已被授权可使用PC、笔记本电脑或力登用户站的设备。
力登的CommandCenter是这一解决方案中的可选管理系统。它通过使用管理者已定义的权限和规则,提供更可控,安全的访问。
值得一提的是,力登KVM解决方案通过API和软件开发工具包,可以和工厂自动化系统集成,进行无缝运行。力登公司目前正在将这一系统部署至全球两个世界级的大型半导体制造商的多个工厂中,包括美国,台湾,中国和日本。
方案优势
该方案具有如下优势:
· 本地访问至厂房内的设备,同时具备允许与禁用远程访问的功能
· 从笔记本电脑,PC或力登的远程访问用户站(DKX3-UST)进行远程访问和控制无尘室内的设备
· 多个用户可同时访问多台工厂设备,且不造成访问上的冲突
· 通过LAN(局域网) & WAN(广域网)控制访问工厂设备
· 可自动收集和保存设备的视频快照
· 通过使用API和SDK,可与工厂自动化系统进行集成
总结
现代化半导体工厂通常有成百上千台复杂机器和设备,必须有效利用、监测和维护。力登制造业解决方案通过标准以太网和IP网络,提供了对这些繁冗设备的本地和远程访问控制;大大扩大了信息流和控制整个工厂设施(以及远超工厂内的设施),提供最高可精确至每分钟的信息和控制;此外,还免去了无尘室不必要的访问,减少人员成本,改善无尘室内环境。